Fluoro Mechanic Co., Ltd.
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シミュレーション - 使用方法
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カタログ(PDF) - リリース
真空ピンセット
カタログ(PDF)
フロロメカニック製真空ピンセットの特長
自社で開発・製造・販売を一貫しておこなっているため、お客様のニーズを把握し、新商品の開発ヒントを常にお客様からいただいて開発・製造しております。
幅広く対応
シリコンウェハーをはじめとする各種ウェハーから微小な小物の吸着・搬送まで幅広く対応できます。
搬送物に合わせて交換
搬送物によってウエハー用吸着チップ、ノズル、パッドに交換可能です。
選べる材質
用途によって導電性・耐薬性各種お選びできます。
作業者を一番に考えた設計
軽量でお手入れもしやすく、長時間の使用にも安定した性能を維持します。
真空ピンセット001、002、003、007の違いについて
バルブ開閉方式によって違いがあります。以下で操作イメージをご覧ください。
イラストのボタン部分クリックで状態が切り替わります。吸引遮断ボタンはピンセット部分クリックでON・OFFが切り替わります。
→ 状態：離脱
→ 状態：吸引
→ PUSH 吸引遮断ボタン：遮断OFF（押し状態）
状態：吸引
→ 状態：吸引
Cシリーズ（導電性タイプ）
- 真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂（トレカ）を用いています。また、内部バルブ部分はフッ素樹脂を使用しており、気密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維で覆う構造になっています。従って、従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能です。（特許取得済み）
- 本体後部に接続されたナイロン製コネクターは固有抵抗値10の6乗±2乗で制御されています。
- 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた炭素繊維及びナノカーボンチューブ入り導電性PEEK樹脂素材で、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施すことにより、長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
- 吸着チップはサイズが豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
Cシリーズ（導電性タイプ）のコード表記例
Fシリーズ（耐薬品性タイプ）
- 真空ピンセット本体はフッ素樹脂（4F-PTFE）を用いています。この樹脂の優れた各特性を巧みに組み合わせた精密加工により、気密性、耐久性等、長期間にわたり安定した性能をお約束します。
- 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れたPEEKを使用しており、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施し長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
- 吸着チップはサイズ、材質が豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
Fシリーズ（耐薬品性タイプ）のコード表記例
リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズ
自重で落ちない薄・軽・極小・華奢・繊細・精密な「微小物」を吸着・吹出搬送する「リリース真空ピンセット」。
吹き出し機能を利用して、適格な位置へワークを着地させます。
リリース真空ピンセットは、真空ポンプFV-Wと真空ピンセットC007又はF007のセットにより構成されます。吸引・吐出用に個別のポンプを設けることなく、真空ポンプFV-Wで兼用したコンパクトなボディ、吸引・吐出の2回路を1つの集合コネクター（二重配管）に接続させる構造なので、1本のチューブのみで吸引、吐出が可能になりました。
| 画像 | コードNo. | 材質 | サイズ | 図面 | |
|---|---|---|---|---|---|
| L | W | ||||
|
C007 | 炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ) | 145 | 14 | 詳細 |
|
F007 | 4F-PTFE | 145 | 14 | |
C007
ピンセット本体は導電性ナイロン樹脂で、フッ素樹脂製バルブを覆っていますので、静電気の影響が受けやすい超微小物に最適です。（固有抵抗値10の6乗±2乗）
F007
フッ素樹脂製バルブ内を鏡面仕上げすることで、優れた気密性、耐久性を発揮します。また、長期間にわたる安定した性能も維持します。
リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズのコード表記例
真空ピンセットの耐久性について
真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
真空ポンプFV-30を使用しています。
真空ピンセットに使用されている材質説明一覧
- 材質
- 材質特長
- 4F-PTFE
- 4フッ化エチレン樹脂は、耐薬品性、耐熱性、潤滑性が最も優れています。
- PK-PEEK
- ポリエーテルエーテルケトンは、耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。 - 導電性ナイロン
- トレカは、ナイロン6をベースに炭素繊維を混入し導電性及び強靭性を実現しました。
ただし、アルカリには弱い傾向があります。 - 導電性PEEK
- PEEK樹脂に炭素繊維を混入し、導電性で耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。 - PFA
- 成型性に優れたフッ素樹脂です。（物性は4フッ化樹脂・3フッ化樹脂に準ずる）
- SUS
- SUS304
オプション・関連情報
真空ピンセットのオプション・関連情報は下記よりご覧ください。
オプション・関連情報はこちら真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ
| 画像 | コードNo. | 名称 | 材質 | 対応軸 | キャップ | サイズ（mm） | 曲げ加工 | 図面 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| T | W | L1 | L2 | ||||||||
|
90 | 5インチ用導電性Y型チップ | 導電性PEEK | 161 | 2.7 | 16 | 26 | 82 | ○ | 詳細 | |
|
91 | 6インチ用導電性Y型チップ | 導電性PEEK | 161 | 3 | 26 | 33 | 89 | ○ | 詳細 | |
|
92 | 8インチ用導電性Y型チップ | 導電性PEEK | 161 | 3 | 32 | 39 | 95 | ○ | 詳細 | |
|
94 | 4インチ用導電性X・Z型チップ | 導電性PEEK | 106 | 260 | 3 | 32 | 39 | 95 | × | 詳細 |
|
95 | 5インチ用導電性X・Z型チップ | 導電性PEEK | 106 | 260 | 2.7 | 15 | 27 | 37 | × | 詳細 |
|
96 | 6インチ用導電性X・Z型チップ | 導電性PEEK | 106 | 260 | 3 | 27 | 32 | 43 | × | 詳細 |
|
97 | 8インチ用導電性X・Z型チップ | 導電性PEEK | 100 | 260 | 3.7 | 31 | 37 | 43 | × | 詳細 |
|
98 | 8インチ用導電性Y型チップ | 導電性PEEK | 161 | 3.5 | 31 | 39 | 129 | ○ | 詳細 | |
|
99 | 12インチ用導電性Y型チップ | 導電性PEEK | 161 | 3.5 | 48 | 58 | 151 | ○ | 詳細 | |
※十分に評価した上でご使用下さい。
導電性ポーラスチップ
化合物半導体・薄いウェハーなどのハンドリングにおけるストレス（応力）の軽減に最適で、吸着離脱の応答が軽快です。
材質は導電性PEEK製です。
| 画像 | コードNo. | 名称 | 材質 | キャップ | サイズ（mm） | 曲げ加工 | 図面 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| T | W | L1 | L2 | φD | |||||||
|
64 | 3～5インチ用導電性ポーラスチップ | 導電性PEEK | 161 | 2.7 | 16 | 26 | 82 | 0.8 | ○ | 詳細 |
|
66 | 8～12インチ用導電性ポーラスチップ | 導電性PEEK | 161 | 3.5 | 48 | 58 | 151 | 0.8 | ○ | |
|
67 | 6～8インチ用導電性ポーラスチップ | 導電性PEEK | 161 | 3.5 | 31 | 39 | 129 | 0.8 | ○ | 詳細 |
※シリコンウエハーを対象に作られております。十分に評価した上でご使用下さい。
※製法上ポーラスチップ空洞内に除去できないバリが存在します。予めご容赦願います。
真空ピンセット Fシリーズ ウエハー用吸着チップ
| 画像 | コードNo. | 名称 | 材質 | X対応軸 | Z対応軸 | キャップ | サイズ（mm） | 曲げ加工 | 図面 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| T | W | L1 | L2 | |||||||||
|
01 | 5インチ用X・Z型チップ | PEEK | 101 | 110 | 200 | 2.7 | 15 | 26 | 35 | × | 詳細 |
|
02 | 5インチ用X・Z型チップ | PEEK | 101 | 110 | 200 | 2.7 | 13 | 21 | 30 | × | 詳細 |
|
03 | 6インチ用X・Z型チップ | PEEK | 101 | 110 | 200 | 2.7 | 26 | 31 | 40 | × | 詳細 |
|
05 | 8インチ用X・Z型チップ | PEEK | 100 | 111 | 200 | 3.8 | 31 | 35 | 41 | × | 詳細 |
|
06 | 4インチ用X・Z型チップ | PEEK | 101 | 110 | 200 | 2.6 | 10 | 21 | 30 | × | 詳細 |
|
09 | 6インチ用X・Z型チップ | PEEK | 100 | 111 | 200 | 3.8 | 26 | 31 | 37 | × | 詳細 |
|
15 | 12インチ用Y型チップ | PEEK | 131 | 3.5 | 47 | 55 | 162 | × | 詳細 | ||
ノズル
| コード | 名称 | 材質 | 内径サイズ | 図面 | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.05 | 0.07 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 1.2 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | ||||
| 21 |
3F製ノズル ※在庫限り |
3F（PCTFE） |  |
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詳細 (Xが内径) |
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| 22 |
3F製ノズル（キャップ付） ※在庫限り |
3F（PCTFE） |  |
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| 23 | PEEK製ノズル | PEEK |  |
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| 24 | べスペル製ノズル | べスペル |  |
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| 25 | 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) | 導電性PEEK |  |
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| 26 | 導電性PEEK製 ノズル | 導電性PEEK |  |
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| 28 | 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) | 導電性PEEK |  |
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| 29 | 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) | 導電性PEEK |  |
|||||||||||||
| 57 | シリコーンゴム製ノズル | 透明シリコーンゴム+3F(PCTFE) |  |
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| 59 | [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製ノズル | [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+導電性PEEK樹脂 |  |
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| 特注ノズル | 各種吸着物に対応可能なノズルを製作致します。 | |||||||||||||||
※導電性PEEK製のノズルはナノカーボンPEEK製です。
※シリコーンゴム製ノズル、導電性バイトンゴム製ノズルは、ゴム製な為外径は若干異なります。
※べスペル製ノズル、特注ノズルは受注生産となります。
カップ（パッド）
| コード | 名称 | 材質 | サイズΦB（外径） | 図面 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 2.5 | 3.0 | 3.5 | 5.0 | 8.0 | 11 | 15 | 20 | 25 | 30 | ||||
| 41 | シリコーンゴム製パッド | シリコーンゴム |  |
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詳細 (Xが外径) |
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| 42 | フッ素ゴム製パッド | フッ素ゴム |  |
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| 43 | 導電性シリコーンパッド | シリコーンゴム+カーボン |  |
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| 44 | [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製パッド | [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+カーボン |  |
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| 45 | テフロン製パッド | テフロン |  |
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| 47 | 複合曲面吸着パッド | 透明シリコーンゴム |  |
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スリットチップ（端面吸着チップ）
| コード | 名称 | 材質 | サイズL（長さ） | 図面 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3.0 | 4.5 | 6.0 | ||||
| 51 |
3F製端面吸着チップ ※在庫限り |
3F |  |
 |
 |
詳細 |
| 55 |
導電性PEEK製端面吸着チップ ※在庫限り |
ナノカーボンPEEK |  |
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軸一覧
X型チップ対応軸
Z型チップ対応軸
キャップ一覧
X型チップ対応キャップ、キャップ関連商品
Y型チップ対応キャップ、キャップ関連商品
Z型チップ対応キャップ、キャップ関連商品
組み合わせシミュレーション
準備中です使用方法
オプション
壁掛型スタンド（テープ付）
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 677 | 壁掛型スタンド（テープ付） | 導電性ナイロン | W85×L40×H50 | 37 | 詳細 |
卓上型スタンド
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 678 | 卓上型スタンド | 導電性ナイロン | W120×L50×H95 | 110 | 詳細 |
C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)
C・F002用卓上型スタンド
壁掛型スタンド（テープ付）
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 651 | 壁掛型スタンド（テープ付） | ホルダー部分：導電性ナイロン 台座部分：アクリル |
W85×L40×H50 | 40 | 詳細 |
卓上型スタンド
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 652 | 卓上型スタンド | ホルダー部分：導電性ナイロン 台座部分：アクリル |
W120×L50×H90 | 106 | 詳細 |
C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)
C・F002用卓上型スタンド
壁掛型スタンド（テープ付）
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 601 | 壁掛型スタンド（テープ付） | アクリル | W120×L40×H35 | 55 | 詳細 |
卓上型スタンド
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 602 | 卓上型スタンド | アクリル | W100×L60×H133 | 115 | 詳細 |
導電性スパイラルチューブ
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) | 図面 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D1 | D2 | L1 | L2 | L3 | L4 | |||||
| 851-M | 導電性スパイラルチューブ | 導電性ポリウレタンエラストマー | 5 | 3 | 500 | 400 | 1000 | 1900 | 84 | 詳細 |
| 851-L | 6 | 4 | 500 | 400 | 1000 | 1900 | 118 | |||
ピンセットホルダー
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 671 | ピンセットホルダー | ウレタン | W27×L20×H20 | 7 | 詳細 |
※非導電性です。
アースセット
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) |
|---|---|---|---|---|
| 858 | アースセット | 導電性ストレートチューブ（5*3） | 1000 | ● |
| アース線 | 1500 | ● |
ポータブル型チップ検査器
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 901 | ポータブル型チップ検査器 | チップステージ PPS | W60×L120×H45 | 350 | 詳細 |
●ピンセット使用時のチップ上に発生した漏れを検査できます。
●軽量で、持ち運びに便利なコンパクトサイズなので場所を選ばず使用できます。
※この製品は目安を測る器具で「校正」の対象製品ではありません。
導電性PVCチューブ専用継手
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) |
|---|---|---|---|---|
| 852-1 | 導電性PVCチューブ専用継手 | 導電性ナイロン | 60 | ● |
※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用
※当社製品接続専用
導電性PVCチューブ
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) |
|---|---|---|---|---|
| 852 | 導電性PVCチューブ | PVC+SUS+導電性ナイロン | 1500 | ● |
※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用
※当社製品接続専用
交換部品
準備中