フロロメカニック株式会社 ロゴFluoro Mechanic Co., Ltd.フロロメカニック株式会社

真空ピンセット

フロロメカニック製真空ピンセットの特長

自社で開発・製造・販売を一貫しておこなっているため、お客様のニーズを把握し、新商品の開発ヒントを常にお客様からいただいて開発・製造しております。

幅広く対応

シリコンウェハーをはじめとする各種ウェハーから微小な小物の吸着・搬送まで幅広く対応できます。

搬送物に合わせて交換

搬送物によってウエハー用吸着チップ、ノズル、パッドに交換可能です。

選べる材質

用途によって導電性・耐薬性各種お選びできます。

作業者を一番に考えた設計

軽量でお手入れもしやすく、長時間の使用にも安定した性能を維持します。

真空ピンセット001、002、003、007の違いについて

バルブ開閉方式によって違いがあります。以下で操作イメージをご覧ください。

イラストのボタン部分クリックで状態が切り替わります。吸引遮断ボタンはピンセット部分クリックでON・OFFが切り替わります。

001:ボタンを押して吸引、離して離脱
PUSH 状態:離脱

002:ボタンを押して離脱、離して吸引
PUSH 状態:吸引

003:ボタンを押して離脱、離して吸引(吸引遮断ボタン付き)
PUSH PUSH 吸引遮断ボタン:遮断OFF(押し状態)
状態:吸引

007:ボタンを押すと吐出、離して吸引
PUSH 状態:吸引

Cシリーズ(導電性タイプ)

画像 コードNo. 材質 サイズ 図面
L W
C001製品画像 C001 炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ) 145 14 詳細
C002製品画像 C002
C003製品画像 C003 詳細
  • 真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。また、内部バルブ部分はフッ素樹脂を使用しており、気密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維で覆う構造になっています。従って、従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能です。(特許取得済み)
  • 本体後部に接続されたナイロン製コネクターは固有抵抗値10の6乗±2乗で制御されています。
  • 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた炭素繊維及びナノカーボンチューブ入り導電性PEEK樹脂素材で、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施すことにより、長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
  • 吸着チップはサイズが豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
  • チューブは、Φ3×5・Φ4×6どちらのサイズも使用できます。

Cシリーズ(導電性タイプ)のコード表記例

Cシリーズ コード表記例

Fシリーズ(耐薬品性タイプ)

画像 コードNo. 材質 サイズ 図面
L W
F001製品画像 F001 4F-PTFE
テフロン
145 14 詳細
F002製品画像 F002
F003製品画像 F003 詳細
  • 真空ピンセット本体はフッ素樹脂(4F-PTFE)を用いています。この樹脂の優れた各特性を巧みに組み合わせた精密加工により、気密性、耐久性等、長期間にわたり安定した性能をお約束します。
  • 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れたPEEKを使用しており、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施し長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
  • 吸着チップはサイズ、材質が豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
  • チューブは、Φ3×5・Φ4×6どちらのサイズも使用できます。

Fシリーズ(耐薬品性タイプ)のコード表記例

Fシリーズ コード表記例

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズ

自重で落ちない薄・軽・極小・華奢・繊細・精密な「微小物」を吸着・吹出搬送する「リリース真空ピンセット」。

吹き出し機能を利用して、適格な位置へワークを着地させます。

リリース真空ピンセットは、真空ポンプFV-Wと真空ピンセットC007又はF007のセットにより構成されます。吸引・吐出用に個別のポンプを設けることなく、真空ポンプFV-Wで兼用したコンパクトなボディ、吸引・吐出の2回路を1つの集合コネクター(二重配管)に接続させる構造なので、1本のチューブのみで吸引、吐出が可能になりました。

画像 コードNo. 材質 サイズ 図面
L W
C007製品画像 C007 炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ) 145 14 詳細
F007製品画像 F007 4F-PTFE 145 14
  • チューブは、Φ3×5・Φ4×6どちらのサイズも使用できます。

C007

ピンセット本体は導電性ナイロン樹脂で、フッ素樹脂製バルブを覆っていますので、静電気の影響が受けやすい超微小物に最適です。(固有抵抗値10の6乗±2乗)

F007

フッ素樹脂製バルブ内を鏡面仕上げすることで、優れた気密性、耐久性を発揮します。また、長期間にわたる安定した性能も維持します。

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズのコード表記例

007シリーズ コード表記例

真空ピンセットの耐久性について

真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
真空ポンプFV-30を使用しています。

真空ピンセットに使用されている材質説明一覧

材質
材質特長
4F-PTFE
4フッ化エチレン樹脂は、耐薬品性、耐熱性、潤滑性が最も優れています。
PK-PEEK
ポリエーテルエーテルケトンは、耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。
導電性ナイロン
トレカは、ナイロン6をベースに炭素繊維を混入し導電性及び強靭性を実現しました。
ただし、アルカリには弱い傾向があります。
導電性PEEK
PEEK樹脂に炭素繊維を混入し、導電性で耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。
PFA
成型性に優れたフッ素樹脂です。(物性は4フッ化樹脂・3フッ化樹脂に準ずる)
SUS
SUS304

オプション・関連情報

真空ピンセットのオプション・関連情報は下記よりご覧ください。

オプション・関連情報はこちら

真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ

画像 コードNo. 名称 材質 対応軸 キャップ サイズ(mm) 曲げ加工 図面
T W L1 L2
真空ピンセット 90製品画像 90 5インチ用導電性Y型チップ 導電性PEEK 161 2.7 16 26 82 詳細
真空ピンセット 91製品画像 91 6インチ用導電性Y型チップ 導電性PEEK 161 3 26 33 89 詳細
真空ピンセット 92製品画像 92 8インチ用導電性Y型チップ 導電性PEEK 161 3 32 39 95 詳細
真空ピンセット 94製品画像 94 4インチ用導電性X・Z型チップ 導電性PEEK 106 260 3 32 39 95 × 詳細
真空ピンセット 95製品画像 95 5インチ用導電性X・Z型チップ 導電性PEEK 106 260 2.7 15 27 37 × 詳細
真空ピンセット 96製品画像 96 6インチ用導電性X・Z型チップ 導電性PEEK 106 260 3 27 32 43 × 詳細
真空ピンセット 97製品画像 97 8インチ用導電性X・Z型チップ 導電性PEEK 100 260 3.7 31 37 43 × 詳細
真空ピンセット 98製品画像 98 8インチ用導電性Y型チップ 導電性PEEK 161 3.5 31 39 129 詳細
真空ピンセット 99製品画像 99 12インチ用導電性Y型チップ 導電性PEEK 161 3.5 48 58 151 詳細

※十分に評価した上でご使用下さい。

真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ 寸法図 真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ 曲げ加工可能な製品についての説明

導電性ポーラスチップ

化合物半導体・薄いウェハーなどのハンドリングにおけるストレス(応力)の軽減に最適で、吸着離脱の応答が軽快です。
材質は導電性PEEK製です。

画像 コードNo. 名称 材質 キャップ サイズ(mm) 曲げ加工 図面
T W L1 L2 φD
真空ピンセット 64製品画像 64 3~5インチ用導電性ポーラスチップ 導電性PEEK 161 2.7 16 26 82 0.8 詳細
真空ピンセット 66製品画像 66 8~12インチ用導電性ポーラスチップ 導電性PEEK 161 3.5 48 58 151 0.8
真空ピンセット 67製品画像 67 6~8インチ用導電性ポーラスチップ 導電性PEEK 161 3.5 31 39 129 0.8 詳細

※シリコンウエハーを対象に作られております。十分に評価した上でご使用下さい。

※製法上ポーラスチップ空洞内に除去できないバリが存在します。予めご容赦願います。

真空ピンセット 導電性ポーラスチップ 寸法図 真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ 曲げ加工可能な製品についての説明

真空ピンセット Fシリーズ ウエハー用吸着チップ

画像 コードNo. 名称 材質 X対応軸 Z対応軸 キャップ サイズ(mm) 曲げ加工 図面
T W L1 L2
真空ピンセット 01製品画像 01 5インチ用X・Z型チップ PEEK 101 110 200 2.7 15 26 35 × 詳細
真空ピンセット 02製品画像 02 5インチ用X・Z型チップ PEEK 101 110 200 2.7 13 21 30 × 詳細
真空ピンセット 03製品画像 03 6インチ用X・Z型チップ PEEK 101 110 200 2.7 26 31 40 × 詳細
真空ピンセット 05製品画像 05 8インチ用X・Z型チップ PEEK 100 111 200 3.8 31 35 41 × 詳細
真空ピンセット 06製品画像 06 4インチ用X・Z型チップ PEEK 101 110 200 2.6 10 21 30 × 詳細
真空ピンセット 09製品画像 09 6インチ用X・Z型チップ PEEK 100 111 200 3.8 26 31 37 × 詳細
真空ピンセット 15製品画像 15 12インチ用Y型チップ PEEK 131 3.5 47 55 162 × 詳細
真空ピンセット Fシリーズ ウエハー用吸着チップ 寸法図

ノズル

コード 名称 材質 内径サイズ 図面
0.05 0.07 0.1 0.2 0.3 0.5 0.7 1.0 1.2 1.5 2.0 2.5 3.0
21 3F製ノズル
※在庫限り
3F(PCTFE) 詳細
(Xが内径)
22 3F製ノズル(キャップ付)
※在庫限り
3F(PCTFE)
23 PEEK製ノズル PEEK
24 べスペル製ノズル べスペル
25 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) 導電性PEEK
26 導電性PEEK製 ノズル 導電性PEEK
28 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) 導電性PEEK
29 導電性PEEK製ノズル(キャップ付) 導電性PEEK
57 シリコーンゴム製ノズル 透明シリコーンゴム+3F(PCTFE) 詳細
(Xが内径)
59 [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製ノズル [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+導電性PEEK樹脂
特注ノズル 各種吸着物に対応可能なノズルを製作致します。

※導電性PEEK製のノズルはナノカーボンPEEK製です。
※シリコーンゴム製ノズル、導電性バイトンゴム製ノズルは、ゴム製な為外径は若干異なります。
※べスペル製ノズル、特注ノズルは受注生産となります。

カップ(パッド)

コード 名称 材質 サイズΦB(外径) 図面
2.5 3.0 3.5 5.0 8.0 11 15 20 25 30
41 シリコーンゴム製パッド シリコーンゴム 詳細
(Xが外径)
42 フッ素ゴム製パッド フッ素ゴム
43 導電性シリコーンパッド シリコーンゴム+カーボン
44 [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製パッド [フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+カーボン
45 テフロン製パッド テフロン
47 複合曲面吸着パッド 透明シリコーンゴム

スリットチップ(端面吸着チップ)

コード 名称 材質 サイズL(長さ) 図面
3.0 4.5 6.0
51 3F製端面吸着チップ
※在庫限り
3F 詳細
55 導電性PEEK製端面吸着チップ
※在庫限り
ナノカーボンPEEK

軸一覧

X型チップ対応軸

画像 コードNo. 名称 素材 対応チップコード 図面
ネジ式X軸 製品画像 100 ネジ式X軸 SUS 05,09,97 詳細
導電性差込X軸 製品画像 106 導電性差込X軸 SUS+導電性ナイロン 95,96 詳細
差込X軸 製品画像 101 差込X軸 SUS+PEEK 01,02,03,06 詳細
曲がり軸 製品画像 103 曲がり軸 SUS ノズル/パッド 詳細

Z型チップ対応軸

画像 コードNo. 名称 素材 対応チップコード 図面
差込Z軸 製品画像 110 差込Z軸 SUS 01,02,03,06 詳細
ネジ式Z軸 製品画像 111 ネジ式Z軸 SUS 05,09 詳細

キャップ一覧

X型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

画像 コードNo. 名称 素材 対応本体コード 図面
導電性X型キャップ 製品画像 260 導電性X型キャップ 導電性ナイロン 95,96,97 詳細
導電性ルアーコネクター 製品画像 816 導電性ルアーコネクター 導電性ナイロン 詳細
X・Z型キャップ 製品画像 200 X・Z型キャップ PEEK 01,02,03,05,06,09 詳細
球座 製品画像 201 球座 PEEK 01,02,03,05,06,09 詳細
ルアーコネクター 製品画像 812 ルアーコネクター PFA 詳細

Y型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

画像 コードNo. 名称 素材 対応本体コード 図面
導電性Y型キャップ 製品画像 161 導電性Y型キャップ 導電性ナイロン 90,91,92,98,99,64,66,67 詳細
導電性ルアーコネクター 製品画像 816 導電性ルアーコネクター 導電性ナイロン 詳細
Y型キャップ 製品画像 131 Y型キャップ PEEK 15 詳細
ルアーコネクター 製品画像 812 ルアーコネクター PFA 詳細

Z型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

画像 コードNo. 名称 素材 対応本体コード 図面
X・Z型キャップ 製品画像 200 X・Z型キャップ PEEK 01,02,03,05,06,09 詳細
コレットチャック 製品画像 130-0 コレットチャック(ø2.3) PEEK 01,02,03,06 詳細
130-1 コレットチャック(ø3.4) PEEK 05,09 詳細
ルアーコネクター 製品画像 812 ルアーコネクター PFA 詳細

組み合わせシミュレーション

準備中です

使用方法


オプション

壁掛型スタンド(テープ付)

オプション 壁掛型スタンド(テープ付) 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
677 壁掛型スタンド(テープ付) 導電性ナイロン W85×L40×H50 37 詳細

卓上型スタンド

オプション 卓上型スタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
678 卓上型スタンド 導電性ナイロン W120×L50×H95 110 詳細

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

オプション C・F002用壁掛型スタンド(テープ付) 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
679 C・F002用壁掛型スタンド(テープ付) 導電性ナイロン W84×L40×H55 36 詳細

 

C・F002用卓上型スタンド

オプション C・F002用卓上型スタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
680 C・F002用卓上型スタンド 導電性ナイロン W120×L50×H95 105 詳細

 

壁掛型スタンド(テープ付)

オプション 壁掛型スタンド(テープ付) 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
651 壁掛型スタンド(テープ付) ホルダー部分:導電性ナイロン
台座部分:アクリル
W85×L40×H50 40 詳細

卓上型スタンド

オプション 卓上型スタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
652 卓上型スタンド ホルダー部分:導電性ナイロン
台座部分:アクリル
W120×L50×H90 106 詳細

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

オプション C・F002用壁掛型スタンド(テープ付) 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
658 C・F002用壁掛型スタンド(テープ付) ホルダー部分:導電性ナイロン
台座部分:アクリル
W85×L40×H55 51 詳細

 

C・F002用卓上型スタンド

オプション C・F002用卓上型スタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
659 C・F002用卓上型スタンド ホルダー部分:導電性ナイロン
台座部分:アクリル
W120×L50×H92 110 詳細

 

壁掛型スタンド(テープ付)

オプション 壁掛型スタンド(テープ付) 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
601 壁掛型スタンド(テープ付) アクリル W120×L40×H35 55 詳細

卓上型スタンド

オプション 卓上型スタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
602 卓上型スタンド アクリル W100×L60×H133 115 詳細

導電性スパイラルチューブ

オプション 導電性スパイラルチューブ 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
D1 D2 L1 L2 L3 L4
851-M 導電性スパイラルチューブ 導電性ポリウレタンエラストマー 5 3 500 400 1000 1900 84 詳細
851-L 6 4 500 400 1000 1900 118

ピンセットホルダー

オプション ピンセットホルダー 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
671 ピンセットホルダー ウレタン W27×L20×H20 7 詳細

※非導電性です。

アースセット

オプション アースセット 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g)
858 アースセット 導電性ストレートチューブ(5*3) 1000
アース線 1500

ポータブル型チップ検査器

オプション ポータブル型チップ検査器 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g) 図面
901 ポータブル型チップ検査器 チップステージ PPS W60×L120×H45 350 詳細

●ピンセット使用時のチップ上に発生した漏れを検査できます。
●軽量で、持ち運びに便利なコンパクトサイズなので場所を選ばず使用できます。
※この製品は目安を測る器具で「校正」の対象製品ではありません。

導電性PVCチューブ専用継手

オプション 導電性PVCチューブ専用継手 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g)
852-1 導電性PVCチューブ専用継手 導電性ナイロン 60

※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用

※当社製品接続専用

導電性PVCチューブ

オプション 導電性PVCチューブ 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ(mm) 質量(g)
852 導電性PVCチューブ PVC+SUS+導電性ナイロン 1500

※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用

※当社製品接続専用

交換部品

準備中