真空ピンセット

目次フロロメカニック製真空ピンセットの特長 Cシリーズ（導電性タイプ） Fシリーズ（耐薬品性タイプ）リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズ

フロロメカニック製真空ピンセットの特長

自社で開発・製造・販売を一貫しておこなっているため、お客様のニーズを把握し、新商品の開発ヒントを常にお客様からいただいて開発・製造しております。

幅広く対応

シリコンウェハーをはじめとする各種ウェハーから微小な小物の吸着・搬送まで幅広く対応できます。

搬送物に合わせて交換

搬送物によってウエハー用吸着チップ、ノズル、パッドに交換可能です。

選べる材質

用途によって導電性・耐薬性各種お選びできます。

作業者を一番に考えた設計

軽量でお手入れもしやすく、長時間の使用にも安定した性能を維持します。

真空ピンセット001、002、003、007の違いについて

バルブ開閉方式によって違いがあります。以下で操作イメージをご覧ください。

イラストのボタン部分クリックで状態が切り替わります。吸引遮断ボタンはピンセット部分クリックでON・OFFが切り替わります。

001：ボタンを押して吸引、離して離脱
→ PUSH 状態：離脱

002：ボタンを押して離脱、離して吸引
→ PUSH 状態：吸引

003：ボタンを押して離脱、離して吸引（吸引遮断ボタン付き）
→ PUSH PUSH 吸引遮断ボタン：遮断OFF（押し状態）
状態：吸引

007：ボタンを押すと吐出、離して吸引
→ PUSH 状態：吸引

Cシリーズ（導電性タイプ）

画像	コードNo.	材質	サイズ		図面
画像	コードNo.	材質	L	W	図面
	C001	炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)	145	14	詳細
	C002				詳細
	C003				詳細

真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂（トレカ）を用いています。また、内部バルブ部分はフッ素樹脂を使用しており、気密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維で覆う構造になっています。従って、従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能です。（特許取得済み）
吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れたPEEK樹脂素材で、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施すことにより、長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。又、カーボンナノチューブを添加することにより低いレベルのフィラー含有量で、高度な導電性を管理することを可能にします。
吸着チップはサイズが豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
チューブは、Φ3×5・Φ4×6どちらのサイズも使用できます。

Cシリーズ（導電性タイプ）のコード表記例

Fシリーズ（耐薬品性タイプ）

画像	コードNo.	材質	サイズ		図面
画像	コードNo.	材質	L	W	図面
	F001	4F-PTFE テフロン	145	14	詳細
	F002				詳細
	F003				詳細

真空ピンセット本体はフッ素樹脂（4F-PTFE）を用いています。この樹脂の優れた各特性を巧みに組み合わせた精密加工により、気密性、耐久性等、長期間にわたり安定した性能をお約束します。
吸着チップは耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れたPEEKを使用しており、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施し長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
吸着チップはサイズ、材質が豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。
チューブは、Φ3×5・Φ4×6どちらのサイズも使用できます。

Fシリーズ（耐薬品性タイプ）のコード表記例

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズ

自重で落ちない薄・軽・極小・華奢・繊細・精密な「微小物」を吸着・吹出搬送する「リリース真空ピンセット」。

吹き出し機能を利用して、適格な位置へワークを着地させます。

リリース真空ピンセットは、真空ポンプFV-Wと真空ピンセットC007又はF007のセットにより構成されます。吸引・吐出用に個別のポンプを設けることなく、真空ポンプFV-Wで兼用したコンパクトなボディ、吸引・吐出の2回路を1つの集合コネクター（二重配管）に接続させる構造なので、1本のチューブのみで吸引、吐出が可能になりました。

画像	コードNo.	材質	サイズ		図面
画像	コードNo.	材質	L	W	図面
	C007	炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)	145	14	詳細
	F007	4F-PTFE	145	14	詳細

007は専用チューブになります。

C007

ピンセット本体は導電性ナイロン樹脂で、フッ素樹脂製バルブを覆っていますので、静電気の影響が受けやすい超微小物に最適です。（固有抵抗値10の6乗±2乗）

F007

フッ素樹脂製バルブ内を鏡面仕上げすることで、優れた気密性、耐久性を発揮します。また、長期間にわたる安定した性能も維持します。

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズのコード表記例

真空ピンセットの耐久性について

真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
真空ポンプFV-30を使用しています。

真空ピンセットに使用されている材質説明一覧

材質: 材質特長
4F-PTFE: 4フッ化エチレン樹脂は、耐薬品性、耐熱性、潤滑性が最も優れています。
PK-PEEK: ポリエーテルエーテルケトンは、耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。
導電性ナイロン: 導電性ナイロンはナイロン６をベースに炭素繊維で強化され導電性で高い機械的強度を実現しました。
ただし、アルカリには弱い傾向があります。
導電性PEEK: 導電性PEEK樹脂は高い機械的強度、強靭性、卓越した耐薬品性と耐熱温度を示し又、カーボンナノチューブを添加することにより低いレベルのフィラー含有量で、高度な導電性を管理することを可能にします。
卓越した耐薬品性を示しますが濃硫酸には溶解します。
PFA: 成型性に優れたフッ素樹脂です。（物性は4フッ化樹脂・3フッ化樹脂に準ずる）
SUS: SUS304

オプション・関連情報

真空ピンセットのオプション・関連情報は下記よりご覧ください。

オプション・関連情報はこちら

真空ピンセット Cシリーズウエハー用吸着チップ

画像	コードNo.	名称	材質	X対応軸	Z対応軸	キャップ	サイズ（mm）				曲げ加工	図面
画像	コードNo.	名称	材質	X対応軸	Z対応軸	キャップ	T	W	L1	L2	曲げ加工	図面
	90	5インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK			161	2.7	16	26	82	○	詳細
	91	6インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK			161	3	26	33	89	○	詳細
	92	8インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK			161	3	32	39	95	○	詳細
	94	4インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	110	260	2.6	10	21	30	×	詳細
	95	5インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	110	260	2.7	15	27	37	×	詳細
	96	6インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	110	260	3	27	32.5	43	×	詳細
	97	8インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	100	111	260	3.8	31	37	42.5	×	詳細
	98	8インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK			161	3.5	32	39	128	○	詳細
	99	12インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK			161	3.5	48	58	151	○	詳細

※十分に評価した上でご使用下さい。

導電性ポーラスチップ

化合物半導体・薄いウェハーなどのハンドリングにおけるストレス（応力）の軽減に最適で、吸着離脱の応答が軽快です。
材質は導電性PEEK製です。

画像	コードNo.	名称	材質	キャップ	サイズ（mm）					曲げ加工	図面
画像	コードNo.	名称	材質	キャップ	T	W	L1	L2	φD	曲げ加工	図面
	64	3～5インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	2.8	16.5	26	82	0.8	○	詳細
	66	8～12インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	4.3	48	58	151	0.9	○	詳細
	67	6～8インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	3.5	32	39	128	0.8	○	詳細

※シリコンウエハーを対象に作られております。十分に評価した上でご使用下さい。

※製法上ポーラスチップ空洞内に除去できないバリが存在します。予めご容赦願います。

真空ピンセット Fシリーズウエハー用吸着チップ

画像	コードNo.	名称	材質	X対応軸	Z対応軸	キャップ	サイズ（mm）				曲げ加工	図面
画像	コードNo.	名称	材質	X対応軸	Z対応軸	キャップ	T	W	L1	L2	曲げ加工	図面
	01	5インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.7	15	27	37	×	詳細
	02	5インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.5	13.5	21	30	×	詳細
	03	6インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	3	27	32.5	43	×	詳細
	05	8インチ用X・Z型チップ	PEEK	100	111	200	3.8	31	35	41	×	詳細
	06	4インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.6	10	21	30	×	詳細
	09	6インチ用X・Z型チップ	PEEK	100	111	200	3.8	26	31	36	×	詳細
	15	12インチ用Y型チップ	PEEK			131	3.5	47	45	162	×	詳細

目次ノズルカップ（パッド）スリットチップ（端面吸着チップ）

ノズル

コード	名称	材質	内径サイズ													図面
コード	名称	材質	0.05	0.07	0.1	0.2	0.3	0.5	0.7	1.0	1.2	1.5	2.0	2.5	3.0	図面
21	3F製ノズル ※在庫限り	3F（PCTFE）														詳細 (Xが内径)
22	3F製ノズル（キャップ付） ※在庫限り	3F（PCTFE）
23	PEEK製ノズル	PEEK
24	べスペル製ノズル	べスペル
25	導電性PEEK製ノズル(キャップ付)	導電性PEEK
26	導電性PEEK製ノズル	導電性PEEK
28	導電性PEEK製ノズル(キャップ付)	導電性PEEK
29	導電性PEEK製ノズル(キャップ付)	導電性PEEK
57	シリコーンゴム製ノズル	透明シリコーンゴム+3F(PCTFE)														詳細 (Xが内径)
59	[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製ノズル	[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+導電性PEEK樹脂														詳細 (Xが内径)
	特注ノズル		各種吸着物に対応可能なノズルを製作致します。

※導電性PEEK製のノズルはナノカーボンPEEK製です。
※シリコーンゴム製ノズル、導電性バイトンゴム製ノズルは、ゴム製な為外径・長さは若干異なります。
※べスペル製ノズル、特注ノズルは受注生産となります。

カップ（パッド）

コード	名称	材質	サイズΦB（外径）										図面
コード	名称	材質	2.5	3.0	3.5	5.0	8.0	11	15	20	25	30	図面
41	シリコーンゴム製パッド	シリコーンゴム											詳細 (Xが外径)
42	フッ素ゴム製パッド	フッ素ゴム
43	導電性シリコーンパッド	シリコーンゴム+カーボン
44	[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製パッド	[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム+カーボン
45	テフロン製パッド	テフロン
47	複合曲面吸着パッド	透明シリコーンゴム

スリットチップ（端面吸着チップ）

コード	名称	材質	サイズL（長さ）			図面
コード	名称	材質	3.0	4.5	6.0	図面
51	3F製端面吸着チップ ※在庫限り	3F				詳細
55	導電性PEEK製端面吸着チップ ※在庫限り	ナノカーボンPEEK

目次軸一覧キャップ一覧

軸一覧

X型チップ対応軸

コードNo.	名称	素材	対応チップコード	図面
100	ネジ式X軸	SUS	05,09,97	詳細
106	導電性差込X軸	SUS+導電性ナイロン	94,95,96	詳細
101	差込X軸	SUS+PEEK	01,02,03,06	詳細
103	曲がり軸	SUS	ノズル/パッド	詳細

Z型チップ対応軸

画像	コードNo.	名称	素材	対応チップコード	図面
	110	差込Z軸	SUS	01,02,03,06,94,95,96	詳細
	111	ネジ式Z軸	SUS	05,09,97	詳細

キャップ一覧

X型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

コードNo.	名称	素材	対応本体コード	図面
260	導電性X・Z型キャップ	導電性ナイロン	94,95,96,97	詳細
816	導電性ルアーコネクター	導電性ナイロン		詳細
200	X・Z型キャップ	PEEK	01,02,03,05,06,09	詳細
201	球座	PEEK	01,02,03,05,06,09	詳細
812	ルアーコネクター	PFA		詳細

Y型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

コードNo.	名称	素材	対応本体コード	図面
161	導電性Y型キャップ	導電性ナイロン	90,91,92,98,99,64,66,67	詳細
816	導電性ルアーコネクター	導電性ナイロン		詳細
131	Y型キャップ	PEEK	15	詳細
812	ルアーコネクター	PFA		詳細

Z型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

コードNo.	名称	素材	対応本体コード	図面
260	導電性X・Z型キャップ	導電性ナイロン	94,95,96,97	詳細
129-0	コレットチャック(ø2.3)	導電性PEEK	94,95,96	詳細
129-1	コレットチャック(ø3.4)	導電性PEEK	97	詳細
816	導電性ルアーコネクター	導電性ナイロン		詳細
200	X・Z型キャップ	PEEK	01,02,03,05,06,09	詳細
130-0	コレットチャック(ø2.3)	PEEK	01,02,03,06	詳細
130-1	コレットチャック(ø3.4)	PEEK	05,09	詳細
812	ルアーコネクター	PFA		詳細

組み合わせシミュレーション

コード：C001-D-X-106-94

製品イメージ

材質
バルブ開閉方式
吸着チップ
軸接続方式
小物吸着

導電性ナイロン製【C】

テフロン製【F】

ボタンを押して吸引【001】
ボタンを押して離脱、離して吸引【002】
ボタンを押して離脱、離して吸引
（吸引遮断ボタン付き）【003】

自在型
（軸が軸線に対し40度曲がります）【X-100】

自在型
（軸が軸線に対し40度曲がります）【X-106】

自在型
（軸が軸線に対し40度曲がります）【X-103】

固定型
（重量物の吸着に耐える構造です）【Y-161】

コレットチャック型
（軸の着脱が容易に行えます）【Z-110】

コレットチャック型
（軸の着脱が容易に行えます）【Z-111】

画像クリックで選択してください。

名称【コード】	内径サイズ
名称【コード】	0.05	0.07	0.1	0.2	0.3	0.5	0.7	1.0	1.2	1.5	2.0	2.5	3.0
3F製ノズル【21】 ※在庫限り
3F製ノズル（キャップ付）【22】 ※在庫限り
PEEK製ノズル【23】
べスペル製ノズル【24】
導電性PEEK製ノズル(キャップ付)【25】
導電性PEEK製ノズル【26】
導電性PEEK製ノズル(キャップ付) 【28】
導電性PEEK製ノズル(キャップ付)【29】
シリコーンゴム製ノズル【57】
[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製ノズル【59】

名称【コード】	サイズΦB（外径）
名称【コード】	2.5	3.0	3.5	5.0	8.0	11	15	20	25	30
シリコーンゴム製パッド【41】
フッ素ゴム製パッド【42】
導電性シリコーンパッド【43】
[フッ素ゴム] 導電性バイトンゴム製パッド【44】
テフロン製パッド【45】
複合曲面吸着パッド【47】

名称【コード】	サイズL（長さ）
名称【コード】	3.0	4.5	6.0
3F製端面吸着チップ【51】 ※在庫限り
導電性PEEK製端面吸着チップ【55】 ※在庫限り

使用方法

オプション

壁掛型スタンド（テープ付）

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
677	壁掛型スタンド（テープ付）	導電性ナイロン	W85×L40×H50	37	詳細

卓上型スタンド

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
678	卓上型スタンド	導電性ナイロン	W120×L50×H95	110	詳細

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
679	C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)	導電性ナイロン	W84×L40×H55	36	詳細

C・F002用卓上型スタンド

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
680	C・F002用卓上型スタンド	導電性ナイロン	W120×L50×H95	105	詳細

壁掛型スタンド（テープ付）

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
651	壁掛型スタンド（テープ付）	ホルダー部分：導電性ナイロン台座部分：アクリル	W85×L40×H50	40	詳細

卓上型スタンド

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
652	卓上型スタンド	ホルダー部分：導電性ナイロン台座部分：アクリル	W120×L50×H90	106	詳細

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
コードNo.	名称	材質	658	C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)	ホルダー部分：導電性ナイロン台座部分：アクリル	W85×L40×H55	51	詳細

C・F002用卓上型スタンド

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
659	C・F002用卓上型スタンド	ホルダー部分：導電性ナイロン台座部分：アクリル	W120×L50×H92	110	詳細

壁掛型スタンド（テープ付）

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
601	壁掛型スタンド（テープ付）	アクリル	W120×L40×H35	55	詳細

卓上型スタンド

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
602	卓上型スタンド	アクリル	W100×L60×H133	115	詳細

導電性スパイラルチューブ

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）						質量(g)	図面
コードNo.	名称	材質	D1	D2	L1	L2	L3	L4	質量(g)	図面
851-M	導電性スパイラルチューブ	導電性ポリウレタンエラストマー	5	3	500	400	1000	1900	84	詳細
851-L	導電性スパイラルチューブ	導電性ポリウレタンエラストマー	6	4	500	400	1000	1900	118	詳細

ピンセットホルダー

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量（g）	図面
671	ピンセットホルダー	ウレタン	W27×L20×H20	7	詳細

※非導電性です。

アースセット

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量(g)
858	アースセット	導電性ストレートチューブ（5*3）	1000	●
858	アースセット	アース線	1500	●

ポータブル型チップ検査器

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量(g)	図面
901	ポータブル型チップ検査器	チップステージ PPS	W60×L120×H45	350	詳細

●ピンセット使用時のチップ上に発生した漏れを検査できます。
●軽量で、持ち運びに便利なコンパクトサイズなので場所を選ばず使用できます。
※この製品は目安を測る器具で「校正」の対象製品ではありません。

導電性PVCチューブ専用継手

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量(g)
852-1	導電性PVCチューブ専用継手	導電性ナイロン	60	●

※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用

※当社製品接続専用

導電性PVCチューブ

コードNo.	名称	材質	サイズ（mm）	質量(g)
852	導電性PVCチューブ	PVC+SUS+導電性ナイロン	1500	●

※当社真空ピンセットと真空ポンプ接続専用

※当社製品接続専用

フロロメカニック製真空ピンセットの特長

幅広く対応

搬送物に合わせて交換

選べる材質

作業者を一番に考えた設計

真空ピンセット001、002、003、007の違いについて

Cシリーズ（導電性タイプ）

Cシリーズ（導電性タイプ）のコード表記例

Fシリーズ（耐薬品性タイプ）

Fシリーズ（耐薬品性タイプ）のコード表記例

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズ

C007

F007

リリース真空ピンセット FV-Wポンプ専用シリーズのコード表記例

真空ピンセットの耐久性について

真空ピンセットに使用されている材質説明一覧

オプション・関連情報

真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ

導電性ポーラスチップ

真空ピンセット Fシリーズ ウエハー用吸着チップ

ノズル

カップ（パッド）

スリットチップ（端面吸着チップ）

軸一覧

X型チップ対応軸

Z型チップ対応軸

キャップ一覧

X型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

Y型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

Z型チップ対応キャップ、キャップ関連商品

組み合わせシミュレーション

使用方法

オプション

壁掛型スタンド（テープ付）

卓上型スタンド

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

C・F002用卓上型スタンド

壁掛型スタンド（テープ付）

卓上型スタンド

C・F002用壁掛型スタンド(テープ付)

C・F002用卓上型スタンド

壁掛型スタンド（テープ付）

卓上型スタンド

導電性スパイラルチューブ

ピンセットホルダー

アースセット

ポータブル型チップ検査器

導電性PVCチューブ専用継手

導電性PVCチューブ

真空ピンセット Cシリーズウエハー用吸着チップ

真空ピンセット Fシリーズウエハー用吸着チップ