Fluoro Mechanic Co., Ltd.
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フロロメカニック製小型真空ポンプの特長
当社の真空ポンプはコンパクトなボディで高い真空圧を得られる機構となっています。ラインナップはFV-10、FV-30、FV-60、FV-XPの4タイプ、半導体の製造工場、医療機器用途、食品製造工程でと、多方面の市場で活躍しております。（微小物搬送に最適な【吸引・吐出機能付き真空ポンプFV-W】は当社の真空ピンセットとセットでご利用いただけます。詳細はこちら）
コンパクトで高い真空圧
ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで多段階に減圧する構造なので、コンパクトなボディで高い真空圧を得られる機構を実現しました。（FV-10は除く）
長寿命でメンテナンスフリー
電磁駆動のため機械的摩耗や接触が少ないのでメンテナンスの必要性が殆どなく、ダイヤフラム耐久理論値まで使用できる長寿命タイプです。
クリーンな排気
吸気及び排気部にHEPAフィルターを装着。クリーンルームでの使用も可能です。
また、フィルターは本体透明窓より目視できるので交換時期も把握できます。（FV-10は除く）
静音設計で高静粛性
構造上密閉されたボディですから運転音も静かです。
また、モーター式に比べ機械接触音もなく静粛性を保てます。
フレキシブルな仕様
コンプレッサーなどのエアー源を必要としませんので、100Vコンセントさえあればどこででも使用が可能です。
さらに、当社の真空ピンセットとの組み合わせにより使用用途も拡がります。
コストパフォーマンス
構造が単純化されていますので、同程度の真空ポンプに比べ信頼性、寿命、消費電力など優れた性能をお約束します。
また、本体価格も安価にてご提供が可能になりました。
FV-10
- 音性の高い材質の容器の中に収納されているので運転音も静かです。また、モーター式に比べ機械接触音もなく静粛性を保てます。
- 磁石とトランスの距離をダイヤルにて変化させ圧力を強弱させることが出来ます。
- 排気部にはフェルト製フィルターを装着しています。
- ハンドリングの範囲は自重で落ちる物からシリコンウェハー相当で4インチまでが目安です。
| コード | FV-10 |
| 名称 | 真空ポンプFV-10 |
| 定格電圧 | AC-100V(50Hz) |
| 消費電力 | 5.0W |
| 到達吸引圧 | -3～-14 kPa（無段階調整） |
| 流量 | 2.8リットル/min |
| サイズ | 長さ155×幅72×高さ61（mm） |
| 質量 | 600g |
| 耐久時間 | 9,000時間以上 |
| 使用限界温度 | 40℃ |
| 付属品 | チューブ3×5 1m |
| 図面 | 図面を見る |
注1：ポンプの流量及び到達吸引圧値は50Hz時の値を表記しています。60Hzで使用の場合は約20%減少します。
※このデータは国内仕様です。
FV-30
- ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで2段階に減圧し並列な構造なので、FV-10よりも高い真空圧を得られる機構を実現しました。
- 吸気及び排気部にHEPAフィルターを装着。クリーンルームでの使用も可能です。また、フィルターは本体透明窓より目視できるので交換時期も把握できます。
- ハンドリングの範囲は自重で落ちる物からシリコンウェハー相当で8インチまでが目安です。
| コード | FV-30 |
| 名称 | 真空ポンプFV-30 |
| 定格電圧 | AC-100V(50Hz) |
| 消費電力 | 5.0W |
| 到達吸引圧 | -50kPa |
| 流量 | 2.5リットル/min |
| サイズ | 長さ137×幅88×高さ85（mm） |
| 質量 | 800g |
| 耐久時間 | 9,000時間以上 |
| 使用限界温度 |
40℃ |
| 付属品 |
L型ジョイント1個／チューブ3×5 1m |
| 図面 | 図面を見る |
注1：ポンプの流量及び到達吸引圧値は50Hz時の値を表記しています。60Hzで使用の場合は約20%減少します。
※このデータは国内仕様です。
FV-60
- ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで2段階に減圧し直列な構造なので、FV-30よりも約2倍高い流量を得られる機構を実現しました。
- 吸気及び排気部にHEPAフィルターを装着。クリーンルームでの使用も可能です。また、フィルターは本体透明窓より目視できるので交換時期も把握できます。
- ハンドリングの範囲はシリコンウェハー相当で12インチまでが目安です。
| コード | FV-60 |
| 名称 | 真空ポンプFV-60 |
| 定格電圧 | AC-100V(50Hz) |
| 消費電力 | 10.0W |
| 到達吸引圧 | -85kPa |
| 流量 | 2.5リットル/min |
| サイズ | 長さ137×幅88×高さ133（mm） |
| 質量 | 1.250g |
| 耐久時間 | 9,000時間以上 |
| 使用限界温度 | 40℃ |
| 付属品 | L型ジョイント1個／チューブ3×5 1m |
| 図面 | 図面を見る |
注1：ポンプの流量及び到達吸引圧値は50Hz時の値を表記しています。60Hzで使用の場合は約20%減少します。
※このデータは国内仕様です。
FV-XP
- ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで2段階に減圧し直列な構造なので、FV-30よりも約2倍高い真空圧を得られる機構を実現しました。
- 吸気及び排気部にHEPAフィルターを装着。クリーンルームでの使用も可能です。また、フィルターは本体透明窓より目視できるので交換時期も把握できます。
- ハンドリングの範囲はシリコンウェハー相当で12インチまでが目安です。
| コード | FV-XP |
| 名称 | 真空ポンプFV-XP |
| 定格電圧 | AC-100V(50Hz) |
| 消費電力 | 10.0W |
| 到達吸引圧 | -60kPa |
| 流量 | 5.0リットル/min |
| サイズ | 長さ137×幅88×高さ133（mm） |
| 質量 | 1.250g |
| 耐久時間 | 9,000時間以上 |
| 使用限界温度 | 40℃ |
| 付属品 | L型ジョイント1個／チューブ3×5 1m |
| 図面 | 図面を見る |
注1：ポンプの流量及び到達吸引圧値は50Hz時の値を表記しています。60Hzで使用の場合は約20%減少します。
※このデータは国内仕様です。
FV-W
- この真空ポンプFV-Wは、真空ピンセットF-007及びC-007のために製作された専用ポンプです。この真空ポンプFV-Wは1台で吸引、吐出が出来、その上、吐出の空気流量を自由に調整出来る真空ポンプです。
- 吸気及び排気部にHEPAフィルターを装着。クリーンルームでの使用も可能です。また、フィルターは本体透明窓より目視できるので交換時期も把握できます。
- ハンドリングの範囲は自重で落下しない物より軽い物。(静電気により吸着口より離れない現象を解決できる。)
| コード | 導電性FV-W | FV-W |
| 名称 | 吸引・吐出兼用ポンプ導電性FV-W | 真空ポンプFV-W |
| 定格電圧 | AC-100V(50Hz) | |
| 消費電力 | 5.0W | |
| 到達吸引圧 | -33kPa | |
| 吸引流量 | 2.3リットル/min | |
| 吐出圧 | 0～20kPa（無段階） | |
| 吐出流量 | 0～2.0リットル/min | |
| サイズ | 長さ137×幅88×高さ91（mm） | |
| 質量 | 800g | |
| 耐久時間 | 9,000時間以上 | |
| 使用限界温度 | 40℃ | |
| 付属品 |
導電性二重配管チューブ/アース線 1.5ｍ |
二重配管チューブ 1.5ｍ |
| 図面 | 図面を見る | |
注1：ポンプの流量及び到達吸引圧値は50Hz時の値を表記しています。60Hzで使用の場合は約20%減少します。
※このデータは国内仕様です。
FV-W専用リリースピンセット
C007（導電性）
F007（耐薬品性）
リリース真空ピンセットは、真空ポンプFV-Wと真空ピンセットC007又はF007のセットにより構成されます。吸引・吐出用に個別のポンプを設けることなく、真空ポンプFV-Wで兼用したコンパクトなボディ、吸引・吐出の2回路を1つの集合コネクター（二重配管）に接続させる構造なので、1本のチューブのみで吸引、吐出（HEPAフィルターを通過した空気）が可能になりました。
小型真空ポンプFVシリーズの圧力比較表
使用方法
準備中
オプション
ポンプ用バッファー
ポンプ内に水が浸入するのを防ぐタンクです。
水の付着したウエハーや吸着物などの搬送にご利用いただけます。
※リリースピンセットには使用できません。
※容量 127CC (喫水線まで）
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 700 | ポンプ用バッファー | アクリル | Φ80×H109.5 | 330 | 詳細 |
FV-10専用フィルター
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 809 | FV-10専用フィルター | ● | Φ24×H59 | 8.6 | 詳細 |
※フィルターを接続することによりゴミを集塵します
FV-30/60ポンプ用L字ジョイント
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 703-1 | FV-30/60ポンプ用L字ジョイント | ● | W98 | 4.2 | 詳細 |
FV-30/60用チューブ入りL字ジョイント
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 703 | FV-30/60用チューブ入りL字ジョイント | ● | チューブ：Φ3*5 1ｍ L字：W98 |
● | 詳細 |
FV-XPポンプ用L字ジョイント
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量（g） | 図面 |
|---|---|---|---|---|---|
| 703-2 | FV-XPポンプ用L字ジョイント | ● | W98 | 3.8 | 詳細 |
ヘパフィルターキット(FV-30/60）
| コードNo. | 名称 |
|---|---|
| 808 | ヘパフィルターキット(FV-30/60） |
ヘパフィルターキット(FV-XP）
| コードNo. | 名称 |
|---|---|
| 807 | ヘパフィルターキット(FV-XP） |
アースセット
| コードNo. | 名称 | 材質 | サイズ（mm） | 質量(g) |
|---|---|---|---|---|
| 858 | アースセット | 導電性ストレートチューブ（5*3） | 1000 | ● |
| アース線 | 1500 | ● |
交換部品
準備中