製品案内

真空ピンセット

真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた素材を使用し、特許取得の軽快な弁の開閉動作でウエハー搬送がストレスなく作業効の向上を実現します。 詳細はこちら

マニュアルピンセット

ウエハーの接触を最小限に抑え、簡単に安定したクリップができるので、安定したすばやいウエハー搬送作業が行えます。 詳細はこちら

ウエハー用吸着チップ

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吸着ノズル・パッド

搬送物のサイズや特性により様々な吸着ノズル、パット、スリットチップなどを各サイズご用意しております。材質も導電性PEEK 、べスペル、シリコーンなど使用環境や搬送物素材によりお選びいただけます。 詳細はこちら

小型真空ポンプ

ダイヤフラムを密閉スペースに設置することで多段階に減圧する構造なので、コンパクトなボディで高い真空圧を得られます。 詳細はこちら

非接触搬送用ベルヌーイチャック

持手の角度は3タイプから選べて、ウエハーサイズ2インチ～12インチまで搬送可能です。ソーラーパネルやプロトスキャリア用なども対応。 詳細はこちら

ノッチ＆オリフラ・アライナー

手動・電動タイプともに、ローラーの着脱が簡単で洗浄も容易です。 キャリアに合わせた、設計製作、お見積りいたします。 詳細はこちら

オプション

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防水パッキン

自社製の高精度精密自動旋盤を用い切削加工された防水パッキンです。サンプル品から量産製品にいたるまで短納期で対応いたします。 詳細はこちら