フロロメカニック製マニュアルピンセットの特長

ウエハーの取り扱いには細心の注意が必要です。
ハンドリング時の傷や汚れなどは、最も気を配らなければならない要因の一つです。
弊社のマニュアルピンセットの特長を紹介します。

マニュアルピンセット ラインナップ

レバーロック式マニュアルピンセット ラインナップ

画像	コードNo.	材質	インチ数	サイズ（mm）			質量（g）	図面
				W	L1(ウエハー外周)	L2
	M100-150L	PEEK	6インチ	40	3	185	71	詳細
	M100-200L	PEEK	8インチ	55	3	180	72	詳細
	M100-300L	PEEK	12インチ	75	8	180	77	詳細
	E100-150L	導電性PEEK	6インチ	40	3	185	71	詳細
	E100-200L	導電性PEEK	8インチ	55	3	180	72	詳細
	E100-300L	導電性PEEK	12インチ	75	8	180	77	詳細

• テコの原理を応用し、わずかな力で安定した挟持力を維持できます。
• ロック機構の使用で挟持後は、ウエハーの質量を支える力のみです。
• マニュアルピンセットのように押さえ続ける労力から開放されます。
• 簡単に安定したクリップができるので、安心して作業が行え能率アップが約束されます。
• 挟持面は2点接触のみなので、ウエハーへの汚染も最小限です。
• 材質のPEEKは強靭性、耐熱性、耐薬品性に優れています。

※挟持物に合わせたピンセット先端加工等、ご相談及びお見積り致します。

マニュアルピンセットLシリーズ ラインナップ

画像	コードNo.	材質	インチ数	サイズ（mm）			質量（g）	図面
				W	L1(ウエハー外周)	L2
	M100-100	PEEK	4インチ	16	4	146	30	詳細
	M100-125	PEEK	5インチ	32	5	148	31	詳細
	M100-150	PEEK	6インチ	37	6	147	31	詳細
	M100-200	PEEK	8インチ	37	8	147	32	詳細
	M110-100	PPS	4インチ	16	4	146	31	詳細
	M110-125	PPS	5インチ	32	5	148	32	詳細
	M110-150	PPS	6インチ	37	6	147	33	詳細
	M110-200	PPS	8インチ	37	8	147	33	詳細
	E100-100	導電性PEEK	4インチ	16	4	146	31	詳細
	E100-125	導電性PEEK	5インチ	32	5	148	33	詳細
	E100-150	導電性PEEK	6インチ	37	6	147	34	詳細
	E100-200	導電性PEEK	8インチ	37	8	147	34	詳細

• ウエハーの表面接触部は2点接触のみで、ウエハーへの汚染も最小限です。
• 従来の金属製ピンセットなどとは異なり、ウエハーを傷つける心配もありません。
• 独自のウエハーストッパーの採用により、ウエハー上に余分な接触を防止します。
• 本体には接着剤・金属等は含まれていませんので、洗浄はもちろん常にクリーンな状態を維持できます。
• 用途に合わせた材質の選択が可能です。

※挟持物に合わせたピンセット先端加工等、ご相談及びお見積り致します。

マニュアルピンセットに使用されている材質一覧

材質

材質特長

PEEK with CNT

PEEK樹脂にナノカーボンを混入し、導電性で耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。

PEEK

ポリエーテルエーテルケトンは、耐薬品性、耐熱性、機械的強度に優れています。
ただし、濃硫酸には溶解します。

PPSフォートロン

PEEKと異なり濃硫酸に溶解しません。
耐薬品性、耐熱性、機械的強度は、PEEKより劣ります。

※PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）は、ポリプラ・エボニック（株）の素材を使用しております。
※PPS（ポリフェニレンサルファイド）は、ポリプラスチックス（株）の素材を使用しております。
※PEEK with CNT（カーボンナノチューブの略）は、ポリプラ・エボニック（株）のHC905というグレードの素材を使用しております。