吸着チップ特長

真空ピンセット Cシリーズ ウエハー用吸着チップ

画像	コードNo.	名称	材質	対応軸	キャップ	サイズ（mm）				曲げ加工	図面
						T	W	L1	L2
	90	5インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK		161	2.7	16	26	82	○	詳細
	91	6インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK		161	3	26	33	89	○	詳細
	92	8インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK		161	3	32	39	95	○	詳細
	94	4インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	260	3	32	39	95	×	詳細
	95	5インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	260	2.7	15	27	37	×	詳細
	96	6インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	106	260	3	27	32	43	×	詳細
	97	8インチ用導電性X・Z型チップ	導電性PEEK	100	260	3.7	31	37	43	×	詳細
	98	8インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK		161	3.5	31	39	129	○	詳細
	99	12インチ用導電性Y型チップ	導電性PEEK		161	3.5	48	58	151	○	詳細

※十分に評価した上でご使用下さい。

導電性ポーラスチップ

化合物半導体・薄いウェハーなどのハンドリングにおけるストレス（応力）の軽減に最適で、吸着離脱の応答が軽快です。
材質は導電性PEEK製です。

画像	コードNo.	名称	材質	キャップ	サイズ（mm）					曲げ加工	図面
					T	W	L1	L2	φD
	64	3～5インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	2.7	16	26	82	0.8	○	詳細
	66	8～12インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	3.5	48	58	151	0.8	○
	67	6～8インチ用導電性ポーラスチップ	導電性PEEK	161	3.5	31	39	129	0.8	○	詳細

※シリコンウエハーを対象に作られております。十分に評価した上でご使用下さい。

※製法上ポーラスチップ空洞内に除去できないバリが存在します。予めご容赦願います。

真空ピンセット Fシリーズ ウエハー用吸着チップ

画像	コードNo.	名称	材質	X対応軸	Z対応軸	キャップ	サイズ（mm）				曲げ加工	図面
							T	W	L1	L2
	01	5インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.7	15	26	35	×	詳細
	02	5インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.7	13	21	30	×	詳細
	03	6インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.7	26	31	40	×	詳細
	05	8インチ用X・Z型チップ	PEEK	100	111	200	3.8	31	35	41	×	詳細
	06	4インチ用X・Z型チップ	PEEK	101	110	200	2.6	10	21	30	×	詳細
	09	6インチ用X・Z型チップ	PEEK	100	111	200	3.8	26	31	37	×	詳細
	15	12インチ用Y型チップ	PEEK			131	3.5	47	55	162	×	詳細