ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長

• 持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、平置き用BC-Kシリーズは2インチから12インチまで対応しております。
  （使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません）
• ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、ウエハー縁を点で接触します。
• 帯電防止ポリカーボネート使用のガイドリングは、目視による位置決めや吸引状態の確認が出来ます。
• 本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化を図りました。
• 両面にパターン印刷があり且つ、50µmの薄く取り扱いの難しいウエハーに対応できます。
• 角型など対象物に合せた特注設計品にも対応いたします。

ベルヌーイチャックは高圧使用のため、安全上、エアーガンと同じくボタンを下向きにしてのご使用をお勧めいたします。（左の画像をご参照ください。）

ベルヌーイチャック使用には、9リットル以上のタンクのあるコンプレッサーとレギュレーターが必要になります。
（弊社では、販売しておりません）

非接触搬送用ベルヌーイチャック

平置き用

材質

本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート

付属品

導電性チューブ6×4（1.5m）

使用角度

20° / 45° / 90°

適応ウエハーサイズ	コードNo.	エアー圧（MPa）	質量（g）
2インチ	BC-K2	0.1	50
3インチ	BC-K3	0.1	70
4インチ	BC-K4	0.15	80
5インチ	BC-K5	0.15	100
6インチ	BC-K6	0.15	120
8インチ	BC-K8	0.2	170

平置き用 300ミクロン以下対応

材質

本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート

付属品

導電性チューブ6×4（1.5m）

使用角度

20° / 45° / 90°

適応ウエハーサイズ	コードNo.	エアー圧（MPa）	質量（g）
6インチ	BC-K6-300	0.15	170
8インチ	BC-K8-300	0.2	220
12インチ	BC-K12-300	0.35	430

プロトスキャリア用 300ミクロン以下対応

材質

本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート

付属品

導電性チューブ6×4（1.5m）

使用角度

45° / 90°

適応ウエハーサイズ	コードNo.	エアー圧（MPa）	質量（g）
6インチ	BC-P6-300	0.15	180
8インチ	BC-P8-300	0.2	240
12インチ	BC-P12-300	0.35	450

卓上ベルヌーイ

客先仕様受注品となります。
新たに開発した先端吸着部は帯電防止プラスチックで、吸着効率の最も良い構造を精密機械加工にて作製。
パット表面の噴射孔より気体を噴射すると、気体の粘性によりワークが上方に引き上げられベルヌーイ効果による吸着力が発生します。これを利用した画期的な製品が卓上ベルヌーイシステムです。

• 低圧力のエアーはパット表面の仰角を持った小径孔より噴射し、ワークに接近させるとベルヌーイ効果でワークは情報へ引き上げられ吸着されます。非接触のためワークにダメージを与えない搬送ができます。（圧力50kPa 流量4.5リットル）
• 操作部はペンシル型小型空気バルブで（C001を採用）ペンタッチの感覚で軽快な操作が出来ます。

使用材質

• バルブ部本体：導電性ナイロン樹脂

（体積抵抗値106Ω）

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理

ガイドリング白色ピン4ヵ所の内側にウエハーをセットしスタートボタンを押すと、ウエハーは浮上してセンターに寄ります。その後、黒角ピンで固定され非接触での搬送ができます。

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要

◆使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。ガイドリングを変える事で各種ウエハーに対応が可能となります。ガイドリング交換も簡単に行えます。

真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
エアー使用圧0.3Mpaにて実施。