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非接触搬送用ベルヌーイチャック

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長1 製品画像
  • 持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、平置き用BC-Kシリーズは2インチから12インチまで対応しております。
    （使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません）
  • ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、ウエハー縁を点で接触します。
  • 帯電防止ポリカーボネート使用のガイドリングは、目視による位置決めや吸引状態の確認が出来ます。
  • 本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化を図りました。
  • 両面にパターン印刷があり且つ、50µmの薄く取り扱いの難しいウエハーに対応できます。
  • 角型など対象物に合せた特注設計品にも対応いたします。
ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長 製品画像2

ベルヌーイチャックは高圧使用のため、安全上、エアーガンと同じくボタンを下向きにしてのご使用をお勧めいたします。（左の画像をご参照ください。）
※受注生産品

ベルヌーイチャック使用には、9リットル以上のタンクのあるコンプレッサーとレギュレーターが必要になります。
（弊社では、販売しておりません）

非接触搬送用ベルヌーイチャック

平置き用

平置き用 製品画像
材質
本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
付属品
導電性チューブ6×4（1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°
適応ウエハーサイズ コードNo. エアー圧（MPa） 質量（g）
2インチ BC-K2 0.1 50
3インチ BC-K3 0.1 70
4インチ BC-K4 0.1 80
5インチ BC-K5 0.2 100
6インチ BC-K6 0.2 120
8インチ BC-K8 0.2 170

平置き用 300ミクロン以下対応

平置き用 300ミクロン以下対応 製品画像
材質
本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
付属品
導電性チューブ6×4（1.5m）
使用角度
20° / 45° / 90°
適応ウエハーサイズ コードNo. エアー圧（MPa） 質量（g）
6インチ BC-K6-300 0.2 170
8インチ BC-K8-300 0.2 220
12インチ BC-K12-300 0.4 430

プロトスキャリア用 300ミクロン以下対応

プロトスキャリア用 300ミクロン以下対応 製品画像
材質
本体: 導電性MCナイロン
ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
付属品
導電性チューブ6×4（1.5m）
使用角度
45° / 90°
適応ウエハーサイズ コードNo. エアー圧（MPa） 質量（g）
6インチ BC-P6-300 0.2 180
8インチ BC-P8-300 0.2 240
12インチ BC-P12-300 0.4 450

クラインベルヌーイ

卓上ベルヌーイ 製品画像 卓上ベルヌーイ 製品画像

新たに開発した先端吸着部は帯電防止プラスチックで、吸着効率の最も良い構造を精密機械加工にて作製。
パット表面の噴射孔より気体を噴射すると、気体の粘性によりワークが上方に引き上げられベルヌーイ効果による吸着力が発生します。これを利用した画期的な製品が卓上ベルヌーイシステムです。

  • 低圧力のエアーはパット表面の仰角を持った小径孔より噴射し、ワークに接近させるとベルヌーイ効果でワークは上方へ引き上げられ吸着されます。非接触のためワークにダメージを与えない搬送ができます。
  • 操作部はペンシル型小型空気バルブで（C001を採用）ペンタッチの感覚で軽快な操作が出来ます。

使用材質

  • バルブ部本体：導電性ナイロン樹脂

（体積抵抗値106Ω）

クラインベルヌーイJr.

クラインベルヌーイJr. 製品画像

クラインベルヌーイより小さいサイズで、パット表面の噴射孔より気体を噴射すると、気体の粘性によりワークが上方に引き上げられベルヌーイ効果による吸着力が発生します。
サイズ15ｍｍ以下（材質により異なりますので、お問い合わせ下さい）

クラインベルヌーイJr.専用吐出ベルヌーイポンプ

クラインベルヌーイJr. 製品画像

100V電源のある場所ならどこでも使え、非接触搬送のできるポンプです。
クラインベルヌーイJr.と合わせてお使いください。
非接触のためワークにダメージを与えない搬送ができます。

コード
吐出ベルヌーイポンプ
名称
吐出ベルヌーイポンプ
定格電圧
AC-100（50Hz）
消費電力
10.0W
吐出圧
50kPa
吐出量
5.0リットル/min
サイズ
長さ137×幅88×高さ133（mm）
質量
1.250g
耐久時間
9,000時間以上
使用限界温度
40℃
図面
図面を見る

※このデータは国内仕様です。

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理 イメージ画像

ガイドリング白色ピン4ヵ所の内側にウエハーをセットしスタートボタンを押すと、ウエハーは浮上してセンターに寄ります。その後、黒角ピンで固定され非接触での搬送ができます。

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要

ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要 角度説明の画像

◆使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。ガイドリングを変える事で各種ウエハーに対応が可能となります。ガイドリング交換も簡単に行えます。

真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
エアー使用圧0.3Mpaにて実施。

使用方法（動画）

ベルヌーイチャックBCシリーズを使ってウエハーと保護紙を非接触搬送する

オプション

四角基板用ガイドリング

オプション 四角基板用ガイドリング 製品画像

ソーラーパネルの搬送などに最適です。
※ご希望のサイズにて製作承ります。

搬送イメージ

2インチ～4インチ ベルヌーイチャック用スタンド （ボタンタイプ用）

オプション 2インチ～4インチ ベルヌーイチャック用スタンド （ボタンタイプ用） 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ（mm） 質量(g) 図面
678 2インチ～4インチ ベルヌーイチャック用スタンド 導電性ナイロン W120×L50×H95 110 詳細

2インチ～12インチ ベルヌーイチャック用スタンド （ボタンタイプ用）

オプション 2インチ～12インチ ベルヌーイチャック用スタンド （ボタンタイプ用） 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ（mm） 質量(g)
699 2インチ~12インチ ベルヌ-イチャック用スタンド ホルダー部分：導電性ナイロン
台座部分：アクリル		 W180×L140×H180 400

5インチ、6インチ用（M） ベルヌーイチャック平置きスタンド

オプション 5インチ、6インチ用（M） ベルヌーイチャック平置きスタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ（mm） 質量(g)
BCS-M 5,6インチ ベルヌーイチャック平置きスタンド 帯電防止ポリカーボネート Φ120 ●

8インチ用（L） ベルヌーイチャック平置きスタンド

オプション 8インチ用（L） ベルヌーイチャック平置きスタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ（mm） 質量(g)
BCS-L 8インチ ベルヌーイチャック平置きスタンド 帯電防止ポリカーボネート Φ160 ●

12インチ用（LL） ベルヌーイチャック平置きスタンド

オプション 12インチ用（LL） ベルヌーイチャック平置きスタンド 製品画像
コードNo. 名称 材質 サイズ（mm） 質量(g)
BCS-LL 12インチ ベルヌーイチャック平置きスタンド 帯電防止ポリカーボネート Φ220 ●