真空ピンセットCシリーズ(導電性タイプ)

ウエハーサイズ対応タイプ:5インチ用6インチ用 8インチ用 12インチ用

真空ピンセットCシリーズ(導電性タイプ)の特長

ウエハープロセスの作業効率向上を実現
  • 真空ピンセット本体は物性及び導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。また、内部バルブ部分はフッ素樹脂を使用しており、気密性を損なわない特殊成形方法により周囲を炭素繊維で覆う構造になっています。従って、従来のFシリーズと同様に軽快な弁の開閉動作が可能です。(特許取得済み)
  • 本体後部に接続されたナイロン製コネクターは固有抵抗値10の6乗±2乗で制御されています。
  • 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた炭素繊維及びナノカーボンチューブ入り導電性PEEK樹脂素材で、機械加工後、熱処理、鏡面加工を施すことにより、長期間にわたる使用にも安定した性能を維持します。
  • 吸着チップはサイズが豊富で、各ウェハーサイズへの対応も多岐にわたって選択可能です。

真空ピンセットCシリーズ組み合わせ見本(下記は一例で、搬送する素材のサイズや特性などにより組み合わせは様々です)

[ 注意 ]
C002・C003で、真空圧-70kPaより高い真空圧を使用する場合、本体下部の穴を塞ぐと、吸着に不都合な現象が起こります。 ご購入の際、代理店または弊社にご相談ください。
真空ピンセットは常温でご使用ください。