ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズ（導電性）
ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの特長
- 持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択し、平置き用BC-Kシリーズは2インチから12インチまで対応しております。
（使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません） - ガイドストッパーに緩やかなテーパーをもたせているので、ウエハー縁を点で接触します。
- 帯電防止ポリカーボネート使用のガイドリングは、目視による位置決めや吸引状態の確認が出来ます。
- 本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化を図りました。
- 両面にパターン印刷があり且つ、50µmの薄く取り扱いの難しいウエハーに対応できます。
- 角型など対象物に合せた特注設計品にも対応いたします。
- ベルヌーイチャックは高圧使用のため、安全上、エアーガンと同じくボタンを下向きにしてのご使用をお勧めいたします。（左の画像をご参照ください。）
ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの動作原理
ガイドリング白色ピン4ヵ所の内側にウエハーをセットしスタートボタンを押すと、ウエハーは浮上してセンターに寄ります。その後、黒角ピンで固定され非接触での搬送ができます。
ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズの製品概要
◆使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。ガイドリングを変える事で各種ウエハーに対応が可能となります。ガイドリング交換も簡単に行えます。
真空ピンセットを安心して長くお使いいただく為に、1日8時間連続してボタンON・OFFを繰り返すバルブ耐久テストを長期間実施しています。
エアー使用圧0.3Mpaにて実施。
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