ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズ(導電性) プロトスキャリア用

平置き用 プロトスキャリア用 

プロストキャリア300ミクロン以下用 製品仕様

プロストキャリア300ミクロン以下用ベルヌーイチャック

持手の使用角度は45度のみとなります。

適応ウエハーサイズ 6インチ 8インチ 12インチ
コードNo. BC-P6-300 BC-P8-300 BC-P12-300
材 質 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
エアー圧(MPa) 0.15 0.2 0.3
質 量 180g 240g 450g
付属品 導電性チューブ6×4(1.5m)
使用角度 45°