ウエハー非接触搬送ベルヌーイチャック BCシリーズ(導電性) 平置き用

平置き用 製品仕様

平置き用ベルヌーイチャック

持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択してください。
(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません)

適応ウエハーサイズ 2インチ 3インチ 4インチ 5インチ 6インチ 8インチ
コードNo. BC-K2 BC-K3 BC-K4 BC-K5 BC-K6 BC-K8
材 質 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
エアー圧(MPa) 0.1 0.15 0.2
質 量 50g 70g 80g 100g 120g 170g
付属品 導電性チューブ6×4(1.5m)
使用角度 20° / 45° / 90°

平置き用300ミクロン以下対応 製品仕様

平置き300ミクロン以下用ベルヌーイチャック

持手の使用角度20度、45度の2点より本体部を選択してください。
(使用角度は固定角度で、使用角度の変更は本体部を変えないと変更できません)

適応ウエハーサイズ 6インチ 8インチ 12インチ
コードNo. BC-K6-300 BC-K8-300 BC-K12-300
材 質 本体: 導電性MCナイロン、ガイドリング: 帯電防止ポリカーボネート
エアー圧(MPa) 0.15 0.2 0.3
質 量 170g 220g 430g
付属品 導電性チューブ6×4(1.5m)
使用角度 20° / 45°
プロトスキヤリア内の材質の異なる保護紙にも対応

プロトスキヤリア内の材質の異なる保護紙にも対応できます。