製品使用方法(動画)
- 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで12インチウエハーを搬送する
- 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで6インチウエハーを搬送する
- 小型真空ポンプを利用しポーラスチップ付の真空ピンセットで12インチウエハーを搬送する
- 通常チップとポーラスチップを使用したウエハー表面のストレス状態の比較
- 曲げ加工付ポーラスチップで平置きのウエハーを搬送する
- 真空ピンセットの吸引圧をチップ検査器でチェック
- マニュアルピンセットで12インチと6インチウエハーを搬送する
- ボタン一つでノッチタイプウエハーを精度良く揃えられる電動型アライナー
- ボタン一つでオリフラタイプウエハーを精度良く揃えられる電動型アライナー
- ノッチタイプとオリフラタイプウエハーの両方が精度良く揃えられる手動型アライナー
- オリフラタイプウエハーを精度良く揃えられる手動型アライナー
- ベルヌーイチャックBCシリーズを使ってウエハーと保護紙を非接触搬送する
- リリースピンセットを利用し自重で落下しないハンダボールと薄箔を吸着搬送する
- 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで2インチウエハーを搬送する