真空ピンセット、バキュームピンセット、微小物搬送システムのフロロメカニック株式会社

フロロメカニック株式会社
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製品使用方法(動画)

  • 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで12インチウエハーを搬送する
  • 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで6インチウエハーを搬送する
  • 小型真空ポンプを利用しポーラスチップ付の真空ピンセットで12インチウエハーを搬送する
  • 通常チップとポーラスチップを使用したウエハー表面のストレス状態の比較
  • 曲げ加工付ポーラスチップで平置きのウエハーを搬送する
  • 真空ピンセットの吸引圧をチップ検査器でチェック
  • マニュアルピンセットで12インチと6インチウエハーを搬送する
  • ボタン一つでノッチタイプウエハーを精度良く揃えられる電動型アライナー
  • ボタン一つでオリフラタイプウエハーを精度良く揃えられる電動型アライナー
  • ノッチタイプとオリフラタイプウエハーの両方が精度良く揃えられる手動型アライナー
  • オリフラタイプウエハーを精度良く揃えられる手動型アライナー
  • ベルヌーイチャックBCシリーズを使ってウエハーと保護紙を非接触搬送する
  • リリースピンセットを利用し自重で落下しないハンダボールと薄箔を吸着搬送する
  • 小型真空ポンプを利用し真空ピンセットで2インチウエハーを搬送する

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